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當VOCs催化燃燒設備實際運行的時候，介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在電子的作用下也可產生大量的態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從活性炭體的活性基團組成可以看出，活性炭體內部富含很高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有活性基團發生反應，較終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
催化燃燒設備是一種除掉不好的氣體及惡臭氣體的一種裝置，它具有運行成本不高、設備占地面積小，自重輕、無任意機械動作，無噪音等特點。催化燃燒設備的凈化速率還不錯，是目前市場上處理不好的氣體較佳的RTO催化燃燒設備。如果是要處理濃度比較不錯的廢氣的話，應當是配合水簾+廢氣洗滌塔+低溫活性炭設備+光解式廢氣凈化裝置來共同處理，處理廢氣的凈化速率還可以。
催化燃燒所用的催化劑為具有大比表面的貴金屬和金屬氧反應物多組分物質。例如家用負載Pd或稀土化合物的催化燃氣灶，可減少尾氣中CO含量，提升熱速率。負載0.2%pt的氧反應鋁催化劑，在500℃下，可將大多數有用化合物燃燒，脫臭凈化到化學位移σ=1以下。
RCO催化燃燒器的燃燒方法有哪些？什么特點？
一、直接燃燒法：利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒，將混合氣體加熱，使物質在高溫作用下分解為物質；本法工藝簡單、投資小，適用于濃度好、小風量的廢氣，但對穩定技術、操作要求較不錯。
二、熱力燃燒法：使用蓄熱式熱力氧化爐RTO進行處理廢氣，可以達到速率好節能的雙重效果。適合處理廢氣的范圍廣。
三、納米微電解氧化法：納米微電解凈化技術采用納米級加工的壓電性材料，在具有相應濕度的情況下，可以通過微電解電場產生納米微電解材料的電性吸附并釋放出大量羥基負離子對氣體中的需氧類污染物進行凈化，不僅可以除去空氣中大部分物，而且還能分析如氨氮、硫化氫等無機臭氣。
四、吸收法：一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進凈化，待吸收液飽和后經加熱、解析、冷凝回收；本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣，但需配備加熱解析回收裝置，設備體積大、投資較不錯。
五、催化燃燒法：把廢氣加熱經催化燃燒轉化成無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節能、操作方便、占地面積少、投資投資大，適用于高溫或濃度好的廢氣。
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